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1、[填空题]滚珠丝杠副按螺纹滚道截面形状分为单圆弧和双圆弧两类；按滚珠的循环方式分为内循环和______两类。
2、[填空题]电容式位移传感器是将被测物理量转换为_______变化的装置。
3、[填空题]机电一体化技术是在机械的主功能、动力功能、信息与控制功能基础上引入______，并将机械装置与电子装置用相关软件有机地结合所构成系统的总称。
4、[填空题]在机电一体化系统稳态设计的负载分析中，常见的典型负载形式有：惯性负载、外力负载、内力负载、弹性负载、_____等。
5、[填空题]测速发电机的负载电阻越大，其线性度__。
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